碳化硅外延设备控制系统的设计与实现
Mechanical & Electrical Engineering Technology（2022）
摘要
外延设备是碳化硅产业链的重要设备之一,设备的控制系统直接决定了设备的优劣.设计与实现了一套碳化硅外延设备控制系统,详细介绍了外延设备控制系统总体设计、软硬件架构和各分系统关键技术.通过高内聚、低耦合,高度的模块化设计,实现端口、零件到模块的逐级封装,软件架构清晰.系统以倍福PLC为主控制器,集成串口RS232/485通讯、DeviceNet等通讯方式,完成信号采集、温度控制、压力、流量、功率等PID控制.设备流量控制采用HORIBA的质量流量计(MFC)、温度控制采用MINI8温控仪、INFICON的薄膜规和压力计、JEL的真空机械臂等,实现了对碳化硅外延各项反应条件的精确调节和控制.控制系统操作界面友好、简单、可移植性强.经实际验证系统稳定、可靠,已生产出符合要求的外延片,达到工艺要求.
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