氧化态对锗衬底表面质量的影响
Semiconductor Technology（2022）
摘要
锗衬底主要用于制备砷化镓太阳电池,在航天器电源及地面聚光太阳电池系统中有着广泛的应用.为进一步提高电池转换效率,对锗衬底的表面质量提出了更高的要求.研究了 HF/H2O2/H2O清洗液体系中氧化剂H2O2体积分数对锗衬底及外延片表面质量的影响.随着氧化反应的不断进行,在锗衬底表面形成一层非晶态不溶性GeOx薄膜,从而实现了锗衬底较好的钝化和更加稳定的表面终结,并通过外延生长进行了工艺验证.通过高分辨率X射线光电子能谱(XPS)对锗衬底表面氧化态进行测试及分峰拟合并模拟计算,当1.2＜x＜1.4时,对应体积比的HF/H2O2/H2O清洗液钝化效果较好.
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