一种新型电容式六维力/力矩传感器设计及解耦分析
Equipment Manufacturing Technology（2022）
Abstract
常用的应变式力传感器在测量电路时,由于比较复杂而需要额外增加A/D转化器才能完成,且力矩解耦困难.电容式力传感器具有结构简单、灵敏度高、动态性能好、能实现非接触式检测等优点.采用电容边缘效应可以提高电容式传感器的线性度.该研究结合变极距平行极板结构设计了一种新型的电容式六维力/力矩传感器.该传感器结构紧凑,具有双十字弹性梁结构.通过相对极板间对不同分量的力/力矩的差动关系进行解耦计算.通过有限元仿真分析验证了该结构解耦的可行性.
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