MEMS微镜动力学模型修正技术研究
Computer Era（2022）
摘要
针对MEMS微镜动力学试验周期长、成本高的问题,通过Solidworks软件建立MEMS微镜几何模型,通过Hypermesh软件建立有限元模型.针对微镜镀层材料参数、厚度难以测量,以及微镜动力学特性受镀层加工工艺影响的问题,用元素型模型修正方法对模型进行修正,修正后,模型特征频率及振型与试验结果基本一致,表明通过元素型模型修正方法可以实现微镜模型的有效修正,修正后的模型动力学分析结果与实验接近.
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