针尖增强拉曼系统高数值孔径物镜对焦方法研究
Acta Metrologica Sinica（2022）
Abstract
为提高针尖增强拉曼系统对焦准确性和效率,提出通过分析CCD相机拍摄的光斑图像的像素值实现自动对焦的方法.首先快速粗调焦缩小调焦范围,然后再慢速细调焦提高调焦精度.实验表明:与Tenengrad评价函数相比,方差评价函数更适用于针尖增强拉曼光谱测量系统自动对焦,聚焦到样品表面时对焦结果的无偏估计标准差＜0.25 μm,具有较高的重复性和鲁棒性;快速粗调焦可提高调焦效率,避免陷入局部最优解;慢速细调焦评价函数曲线在焦点附近呈现"M"形,可通过二次拟合提高调焦精度.
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