圆筒型三极式碳纳米管阴极电离规计量学特性研究
Vacuum and Cryogenics（2022）
Abstract
利用丝网印刷法制备了一种碳纳米管场发射阴极,并将其用作圆筒型三极式电离规的电子源,研究了该电离规在空气氛围中的计量学特性.研究表明,在10-7～10-4 Pa的压力范围内电离规离子电流和实验气体压力呈良好线性特征,测量下限比传统圆筒型三极式热阴极电离规低2个数量级;该规的功耗仅8.5 mW,灵敏度约0.047 Pa-1,极低的功耗使其在空间探测中具有潜在应用价值.
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