长导轨直线度分段测量拼接方法研究
Acta Metrologica Sinica（2022）
摘要
激光干涉仪测量超长导轨直线度时,因导轨长度超出干涉仪直线度测量范围,需分段测量后拼接,测量数据易受噪声和激光漂移等因素影响,导致拼接可能引入较大误差.通过分析拼接过程中的影响因素,结合长导轨结构特性,提出了一种将拼接公共点分布在相邻两节子导轨上,利用相邻两节子导轨夹角的稳定特性来实现长导轨直线度拼接的方法.通过仿真与实验,对比了 30 m范围内的直接测量法与坐标变换拼接法的测量结果,2种方法的直线度结果相差＜10μm,表明所提出的方法能有效减小拼接误差.将此方法应用于72 m导轨的直线度测量,并与电子水平仪测量方法比较,2种方法结果相差10μm,表明所提出的方法可实现高精度的直线度拼接.
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