大口径、高精度二维快速控制平面反射镜系统设计

为解决光电跟踪仪跟踪精度测量过程中光束大范围指向的模拟问题,设计了一种大口径、高精度二维快速控制反射镜(fast?steering?mirror,?FSM).采用微晶材料设计了长、短轴分别为230?mm和160?mm的椭圆形平面反射镜,面形精度优于λ/30.采用音圈电机驱动,通过柔性支撑铰链设计及DSP嵌入式控制系统,运动行程达到±30?mrad,运动控制精度达到5?μrad,运动控制线性度优于±0.20％,角分辨率优于1?μrad.通过软件控制,实现对入射光束圆形轨迹运动、直线轨迹运动、随机运动等形式的运动模拟.最后,对设计指标进行实际测试,可以满足跟踪精度光束动态模拟的测试需求.