钼靶材溅射沉积效果差异原因分析
Powder Metallurgy Industry（2022）
Abstract
采用粉末冶金法制备了不同晶粒度的钼棒并加工出靶材,通过金相技术、显微硬度测试和力学性能测试等方法对产品的微观组织、力学性能进行分析,研究了产品在涂层制备过程中溅射沉积钼效果存在差异的原因.研究结果表明,钼靶材组织的晶粒均匀细小,晶界所占面积率越大,钼靶材溅射沉积效果越好.钼靶材抗拉强度、伸长率、硬度随晶粒尺寸的减小呈上升趋势.
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