四谱段TDICCD图像传感器的设计与制作

XU Daorun,LIU Yeqi,YUAN Anbo,LIAO Naiman,QU Pengcheng,LUO Chunlin, ZHANG Xiaoqin

Semiconductor Optoelectronics（2022）

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摘要

设计并研制了一种四谱段时间延迟积分电荷耦合器件(TDICCD)图像传感器,器件将四个TDICCD集成在同一芯片上,通过在光窗对应位置上镀不同的窄带滤光膜实现多谱段分光.该TDICCD图像传感器的像元尺寸为28 μm×28 μm,水平寄存器的有效像元数为3 072元,行频为10 kHz,电荷转移效率高达0.999 99,饱和输出电压为2 650 mV,抗弥散能力大于等于100倍,动态范围为7 143:1.

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