中红外仿生复合微纳结构减反射表面研究

Ma Ziye,Ouyang Mingzhao,Fu Yuegang,Wu Jinshuang,Zhou Jianhong,Ren Hang,Zhang Ziqiang

Acta Optica Sinica（2022）

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摘要

利用原子层沉积技术共形生长的特点,同时利用自组装掩模刻蚀技术,在单晶硅基底上制备了具有低深宽比和满占空比特点的Al2O3-Si复合微纳结构表面.光谱反射率测试结果表明,在底端满占空比、微结构深宽比接近1∶1的情况下,入射角在8.时复合微纳结构表面在3～5 μm谱段的平均反射率小于3.5％.纳米压痕测试结果表明,Al2O3-Si复合微纳结构表面的弹性恢复率较单一硅基底结构增加10.14％,证明沉积氧化铝薄膜具有提升抗反射微纳结构力学性能的作用.

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关键词

thin films,composite micro-nano structure surface,atomic layer deposition of aluminum oxide,mid-infrared antireflection,elastic recovery rate

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