三维集成电路中基于多棱柱单元有限元法的寄生参数提取
Electronic Design Engineering（2022）
摘要
寄生参数提取是集成电路电子设计自动化中的重要议题,其精度与效率取决于所采用的电磁场求解器.该文研究了一种基于多棱柱单元的有限元法,用于参数的提取,该方法采用广义重心坐标系方法,在对偶网格上推导其形函数.为解决常规广义重心坐标系所形成的插值算法计算耗时严重的问题,该文提出一种在多个子区域中分片插值的技术,简化了与形函数相关的微分与积分运算,使多胞体单元的单元刚度矩阵更容易获得,从而显著降低了计算复杂度.文中通过电容参数提取算例表明,多胞体有限元法具有良好的收敛性,精度较高.
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