多弧离子镀TiAlCrN薄膜的制备及其抗氧化性能研究
Materials Protection（2022）
摘要
为提高模具钢表面性能,延长模具钢使用寿命,采用多弧离子镀技术在H13模具钢表面制备TiAlCrN薄膜.采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等方法研究氮氩流量比对TiAlCrN薄膜的表面形貌、物相组织、硬度、结合力、高温抗氧化性能的影响.研究表明:随着氮氩比的增加,TiAlCrN薄膜表面大颗粒数量先增加后减少,硬度、结合力、高温抗氧化性能先增强后减弱;在氮氩比为8:2时,TiAlCrN薄膜具有最优性能,氧化前的薄膜硬度达到最大值2700 HV0.5 N,膜基结合力达到最大值26 N,高温抗氧化性能达到最优.
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