耐电晕聚酰亚胺复合薄膜的新工艺设计
Electrical Engineering Materials（2022）
摘要
由于拥有优异的综合性能,聚酰亚胺复合材料已经成为微电子领域和电子工业不可缺少的基体材料.目前制备聚酰亚胺薄膜的方法包括流延法、浸渍提拉法、离子交换法以及层铺流延法.本文结合工作实际,总结了现有的生产耐电晕聚酰亚胺薄膜的制备工艺,对比了现有工艺的优缺点,并在现有工艺的基础上,提出了多次滚涂生产聚酰亚胺薄膜的新工艺方法.
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