转角模块对晶圆划切质量的影响因素研究
China Plant Engineering（2022）
摘要
本文主要研究砂轮划片机在切割晶圆的过程中,转角模块的各个参数对晶圆磨削切口质量的影响,通过实验对其进行了系统的工艺分析,并给出了砂轮划片机转角模块对晶圆划切工艺的调整改进方案.结构方面根据原来的转角模块存在的不足进行了改进,改进后的转角模块结构使调节吸盘上表面水平更加方便,砂轮片切割晶圆效果更加精准,减小了划切晶圆的缺陷率.
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