不同光栅对光束整形效果的影响分析

Yang Guangyuan,Yang Junpeng,Peng Sanwen, Han Lei, Zhang Yi,Wang Yutao,Zhai Zhongsheng

Applied Laser（2021）

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摘要

在介绍SLM进行光束整形原理的基础上,分析了二元光栅、闪耀光栅和正弦光栅三种光栅的结构特性,并根据影响整形光束质量的性能指标,以方向光斑为例,设计了不同周期的相位掩模图.成像和加工试验表明,SLM上加载三种光栅形成的掩模图,均可以将高斯分布的圆形光斑整形为平顶的方形光斑,但闪耀光栅的整形效果明显优于另外两种光栅.在闪耀光栅周期为120 μm时,局部能量利用率达到91.86％,均方根误差为0.039,整形后光束具有较好的均匀性.

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