单晶金刚石微铣刀的飞秒激光制造研究
Journal of Yanshan University（2022）
摘要
单晶金刚石是微铣刀的理想刀具材料,但其硬度较高,且微铣刀尺寸较小,传统刀具制造方法难以加工.因此,对基于飞秒激光的单晶金刚石微铣刀制造技术进行了研究.首先计算了单晶金刚石的飞秒激光烧蚀阈值,并分析其材料去除机理.其次利用微槽加工实验进行了工艺参数的优选,并使用最佳参数制备出了高质量的单晶金刚石微铣刀,其前、后刀面表面粗糙度Sa分别为150 nm和176 nm,主切削刃刃口钝圆半径达到2.142μm.微铣削实验结果表明,飞秒激光制造的高锋利度单晶金刚石微铣刀的切削性能较好,且切削刃不易失效.
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