CCD亚微伏电荷转换因子结构的设计与验证
Optoelectronic Technology（2022）
摘要
设计了大尺寸输出节点和大尺寸放大器栅电容的CCD特殊输出结构,使输出节点总电容约为4.5×10-13F,对设计结构进行了工艺试验.对输出节点电容进行参数校准、结构优化、流片试验、测试验证.试验结果表明,优化设计后的CCD电压转换因子精确地达到了 0.352 μV/e-,满足了航天系统紫外线阵CCD满阱容量需达到1.0×107e-/pixel量级,饱和输出幅度在3.5～4 V范围,CCD的电压转换因子在0.35 μV/e-亚微伏水平(比传统CCD低1～2个数量级)的特殊输出结构要求.
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