ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ ГАЗОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ "ЭПИФАЗ ТМ 200-01" ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДИАМЕТРОМ ДО 200 ММ
Nanoindustry Russia(2021)
Abstract
Представлены состав, описание основных узлов и принцип работы экспериментального образца установки «Эпифаз ТМ 200-01» газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений (ГФЭ МОС) для роста III-N-гетероструктур на подложках диаметром до 200 мм
MoreTranslated text
Key words
эпифаз тм,экспериментальный образец
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
![](https://originalfileserver.aminer.cn/sys/aminer/pubs/mrt_preview.jpeg)
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined