ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ ГАЗОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ "ЭПИФАЗ ТМ 200-01" ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДИАМЕТРОМ ДО 200 ММ

М.Г. Бирюков,В.В. Одиноков, П.Е. Афонин,А.В. Шубников,В.В. Панин,В.М. Устинов, А.Ф. Цуцульников,В.В. Лундин,Е.Е. Заварин,В.Н. Стаценко,С.Д. Федотов,Р.А. Талалаев, Д.С. Базаревский

Nanoindustry Russia（2021）

Cited 0|Views4

No score

Abstract

Представлены состав, описание основных узлов и принцип работы экспериментального образца установки «Эпифаз ТМ 200-01» газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений (ГФЭ МОС) для роста III-N-гетероструктур на подложках диаметром до 200 мм

Translated text

Key words

эпифаз тм,экспериментальный образец

AI Read Science

Must-Reading Tree

Example

Generate MRT to find the research sequence of this paper

Chat Paper

Summary is being generated by the instructions you defined