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氮化硅粉体制备技术及粉体质量研究进展

XIANG Maoqiao,GENG Yuqi,ZHU Qingshan

CIESC Journal（2022）

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Abstract
氮化硅(Si3N4)具有优异的物化性能,在国防、电子信息等关键领域都占据重要的地位.高质量粉体是制备高性能Si3N4陶瓷的首要前提.通常高质量Si3N4粉体需要满足粒径细、分布窄、α相含量高、杂质含量低等条件.基于合成反应体系综述了当前国内外制备Si3N4粉体的方法,着重从强化传热与传质角度介绍了改善粉体质量的研究进展,并介绍了当前工业生产现状,展望了高质量Si3N4粉体制备技术的发展趋势和方向.
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