液体基准平面的Φ300mm立式斐索干涉仪系统误差标定
Infrared and Laser Engineering（2022）
Abstract
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要.根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定.理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误差进行标定.针对Φ300 mm立式斐索干涉仪,研究了不同的液体粘度、液体厚度、干涉腔长和环境温度对液面测量的影响,构建了可靠的液面基准.通过液面基准,指导干涉仪参考平晶的装调校准,对其系统误差进行补偿,干涉仪精度达到0.035λ,优于λ/25.为了进一步验证液面基准的可靠性与准确性,进行了重复性实验,并且采用Φ400 mm的液面和Φ450 mm的液面进行比对测试,两次标定结果的偏差优于λ/100(6 nm),验证了液面基准的可靠性与准确性.
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