高温纯化设备真空气路优化解析

Modern Industrial Economy and Informationization（2022）

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摘要

通过对现有国产高温纯化设备气场气路进行分析,对发现的问题进行优化处理,并根据新方案设计制造气场分气盘和气路,使国产高温纯化设备达到国外先进设备的纯化指标,满足我国三代半导体对于高纯度材料的要求.

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