基于机器视觉的高精度微纳光纤直径实时测量

针对传统微纳光纤直径测量方法操作复杂、重复性差且易于损伤光纤等问题,开发了一套基于机器视觉的微纳光纤直径测量系统.首先,对系统采集的图像进行预处理和二值化分割,其次,通过Canny边缘算子实现微纳光纤边缘初定位,最后,基于改进Zernike矩的亚像素检测方法精确定位了亚像素级边缘.此外还提出了结合Hough变换与最小二乘法的算法拟合亚像素级边缘点的方案,将系统微纳光纤直径测量精度提升至纳米级.实验测量结果表明,该系统可实现3.51％以内误差的自动化测量,运行时间为2.671 s,更适用于微纳光纤尺寸的高精度实时测量.