低温辐射计紫外探测器光谱响应度测试技术研究

Journal of Applied Optics(2022)

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摘要
通过研制真空多光路切换组件,结合Y型真空比较通道、探测器真空舱,在保证超高真空环境的前提下,实现激光、紫外连续可调单色光以及真空紫外单色光3个光路的快速切换,从而以低温辐射计为基准,以紫外增强硅陷阱探测器为传递标准,实现波长115?nm~400?nm紫外探测器绝对光谱响应度的测量,实验验证绝对光谱响应度测量不确定度在115?nm~230?nm可达到0.8%~1.5%?(k=2),在230?nm~400?nm可达到0.5%~1.0%?(k=2).
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关键词
spectral responsivity measurement technology,uv detector
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