阵列式高频热流信号薄膜传感器制备工艺与参数研究

阵列式高频热流信号柔性薄膜传感器在流体力学风洞试验中有着十分重要的应用前景.聚酰亚胺具有优良的力学性能、化学稳定性和耐高温特性,是微加工制备薄膜传感器的理想衬底材料之一.但该材料表面有疏水基团,制备的金属镀层极容易被破坏,降低了应用价值.针对阵列式高频热流信号柔性薄膜传感器制备中衬底材料与镀层金属结合力欠佳的情况,使用等离子体表面处理技术改善聚酰亚胺薄膜表面的亲水性,提高了与金属材料的结合力.同时根据光刻胶紫外曝光变性的特点,通过匀胶与光刻工艺相结合的方式,将设计的传感器图案转移到薄膜上.再使用磁控溅射镀膜机对所需金属层进行物理沉积,实现微纳米图案化薄膜传感器的制备,并且对磁控溅射这一关键工艺步骤定性研究确定最佳溅射功率和时间等参数.