插入NiCr合金层对SnO2/Ag/SnO2多层结构透明导电薄膜热稳定性的影响

室温下通过磁控溅射技术制备了SnO2/Ag/SnO2(SAS)、SnO2/Ag/NiCr/SnO2(SANS)和SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2(SNANS)三类多层膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性能的关系.结果表明,随着退火温度升高,薄膜的结晶程度及透明导电性能先增强后下降,薄膜的粗糙度先下降后上升.插入NiCr合金层提高了薄膜的热稳定性,且在Ag层两侧插入厚的NiCr合金层时薄膜热稳定性最优.而薄膜在真空环境下比在大气环境下的热稳定性更优.450℃真空退火后,SNANS(1 nm NiCr)薄膜平均透光率(400～800 nm)为90.31％,电阻率为8.21×10-5Ω·cm,品质因子为3.87×10-2Ω-1.