Na掺杂MoO3陶瓷靶材的制备及其成膜性能研究

为满足薄膜太阳能电池对Na源充足与稳定的需求,以钼酸钠和氧化钼粉为原料,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备了Na掺杂MoO3陶瓷靶材(Na-MoO3),研究了烧结温度、烧结助剂Al和Na掺杂含量("含量"指摩尔分数)对Na-MoO3靶材结构、组织、致密度以及Na回收率的影响.结果表明:在烧结助剂Al含量为1％、Na含量为3％、烧结温度为450℃的实验条件下,可以制备出致密度高(相对致密度98.2％)、钠回收率高(94.3％)的Na-MoO3陶瓷靶材.随着掺杂含量的增加,Na-MoO3靶材致密度和Na回收率降低.将含1％Al和3％Na的氧化钼陶瓷靶材通过磁控溅射工艺溅射成膜,所制备的Na-MoO3薄膜结构致密,0.28％Na元素均匀弥散分布于薄膜中.