空心玻璃微珠内部残余气体分析
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2022）
摘要
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道.针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样品破坏取样机构.基于静态升压法和动态流导法,结合破碎率,推导空心玻璃微珠内部压强计算公式.采用小孔对大气量残余气体降压取样,并使用四级质谱仪对其进行成分分析.对比初读法和积分法两种质谱分析方法,其中积分法分析结果具有更好的一致性.结果 表明,取样机构可以获得40％以上的质量微珠破碎率,基于玻璃粉末法制备的空心玻璃微珠内部压强在27000 Pa左右,残余气体成分主要包括SO2、N2、CO、CO2和02.
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