订阅小程序
旧版功能

电容式MEMS压力传感器的稳健设计研究

Lü Bo,TAN Xiaolan,LIU Shengqiang

Transducer and Microsystem Technologies（2021）

引用 1|浏览7
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要