超精密车削表面衍射效应的研究进展
Journal of Mechanical Engineering（2022）
Abstract
超精密车削技术广泛应用于航空航天、清洁能源、光学精密器件制造等关键领域.超精密车削镜面应用于可见光波段时会出现衍射效应,导致镜面光学性能降低.为研究超精密车削表面衍射效应的来源以及相应的抑制和消除技术,学者们开展了大量研究工作,总结和归纳了相关研究工作的进展.首先分析了超精密车削表面衍射效应的来源及相应的理论模型,其次总结了抑制和消除超精密车削表面衍射效应的技术,分析了不同技术方法的特点,最后介绍了衍射效应在超精密加工领域的其他应用.
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