紫外焦平面阵列器件调制传递函数测试技术

针对紫外焦平面阵列器件调制传递函数的测试需求,基于刀口扫描法,搭建了一套调制传递函数测试系统.采用SW-Cassegrain同心反射系统方案实现刀口在探测器表面清晰成像,经测试,在0～100 lp/mm范围内可以达到衍射极限.利用该系统对紫外焦平面阵列器件进行了实际测试,测试过程中采用调制传递函数曲线下面积值最大的原则实现刀口像的自动调焦,采用三项费米函数的拟合模型对边缘扩散函数数据进行拟合,提高了拟合精度.实验结果表明在器件奈奎斯特频率处的调制传递函数值为0.601,接近器件的理论极限值,同时在奈奎斯特频率范围内,调制传递函数测量值的相对标准偏差最大为1.8％,获得了很好的测量重复性.不确定度分析结果表明,该装置对紫外焦平面阵列器件调制传递函数测试的测量不确定度为6.2％,能够很好地满足实际应用需求.