基于稀疏子孔径的大口径准直波前评价
Journal of Applied Optics（2022）
摘要
针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法.该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小对重构精度的变化规律,得到优化的子孔径排布方式;采用子孔径口径大小为10.8 mm、相邻子孔径中心间距为9.72 mm的优化子孔径排布对300 mm口径准直波前进行稀疏子孔径评价.
更多关键词
wavefront evaluation,sparse subaperture,large-aperture
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