离子辅助偏压对HfO 2 和SiO 2 单层膜的性能的影响

Chinese Optics Letters(2011)

引用 0|浏览5
暂无评分
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树,研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要