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タンタル酸ナノシート/SiO₂/Si界面バンドオフセットにおけるUV照射の効果 (シリコン材料・デバイス)

脩平 速水,智史 豊田, 勝利 福田, 英生 菅谷, 将史 森田,明良 中田,喜晴 内本,英一郎 松原

IEICE technical report. Speech(2016)

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