メニスカス閉じ込め電着を用いたミクロ/ナノスケール金属印刷のマルチ物理シミュレーション環境湿度の効果

Morsali Seyedreza, Daryadel Soheil, Zhou Zhong, Behroozfar Ali, Qian Dong, Minary-Jolandan Majid

Journal of Applied Physics（2017）

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メニスカス閉じ込め電着を用いたミクロ/ナノスケール金属印刷のマルチ物理シミュレーション 環境湿度の効果