ラジカル注入プラズマ増強化学気相成長法における非晶質炭素膜のsp 2 分率と解離したメチル密度に及ぼすCH 4 /H 2 のガス滞留時間の影響 Sugiura Hirotsugu, Jia Lingyun,Kondo Hiroki,Ishikawa Kenji,Tsutsumi Takayoshi,Hayashi Toshio,Takeda Keigo,Sekine Makoto,Hori MasaruJapanese Journal of Applied Physics（2018）引用 0|浏览1暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
