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低k細孔シールのための有機シラン単分子層とスピンコーティングの最適化とスケールアップ【Powered by NICT】

Sun Yiting,Negreira Ainhoa Romo,Meersschaut Johan, Hoflijk Ilse,Vaesen Inge, Conard Thierry, Struyf Herbert,Tokei Zsolt, Boemmels Juergen, Moinpour Mansour, De Feyter Steven,Armini Silvia

Microelectronic Engineering（2017）

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