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反応性ガスパルススパッタリングによって作製したTiN薄膜の構造と性質に及ぼすN_2ガス噴射パラメータの影響【Powered by NICT】

Yang Jijun,Peng Mingjin,Liao Jiali,Yang Yuanyou,Liu Ning

Surface & Coatings Technology（2017）

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