スパッタ蒸着非晶質SiGe膜の二重結晶化モード【JST・京大機械翻訳】Masayuki Okugawa,Ryusuke Nakamura,Hiroshi Numakura,Manabu Ishimaru,Hideyuki YasudaJournal of Applied Physics(2020)引用 0|浏览2暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要