Validasi metode kalibrasi check master berbasis interferometer dengan mengaplikasikan kompensasi pasif pada kesalahan gerak angularnya

Kesalahan Abbe merupakan salah satu faktor yang mempengaruhi kualitas hasil pengukuran check master . Kesalahan geometri ini dapat direduksi dengan cara melakukan kompensasi, baik secara aktif maupun pasif. Pada penelitian ini, heterodyne laser interferometer dari pabrikan Agilent Technology digunakan sebagai standar. Laser tersebut dikombinasikan dengan mesin pengukur dari pabrikan SIP sebagai wahana bergeraknya. Untuk meningkatkan akurasi pengukuran, nilai refraktif indek udara dan kompensasi temperatur dikalkulasi ulang, terpisah dengan perangkat lunak pabrikan laser interferometer. Selain itu, kesalahan Abbe juga direduksi secara pasif dengan melakukan kalkulasi nilai yaw dan jarak offset . Hasil pengukuran ini divalidasi dengan nilai yang diperoleh Lembaga Metrologi Nasional negara lain dan dianalisis dengan menggunakan metode statistik nilai E n . Hasil perbandingan menunjukkan bahwa untuk rentang 10 s.d. 40 mm terdapat beberapa nilai yang tidak memenuhi kriteria angka E n , sedangkan untuk rentang pengukuran 50 s.d. 400 mm berada pada rentang nilai yang memenuhi kriteria angka E n dengan nilai terbesar 0,93 dan terkecil 0,02. Secara umum hal ini menunjukkan bahwa metode kalibrasi check master berbasis interferometer dengan mengaplikasikan kompensasi pasif pada kesalahan gerak angularnya telah divalidasi.