Ar/C_4F_8/O_2混合物を用いたSiO_2における高アスペクト比特徴のプラズマエッチング:計算研究【JST・京大機械翻訳】 Huang Shuo,Huard Chad,Shim Seungbo,Nam Sang Ki,Song In-Cheol,Lu Siqing, J Kushner MarkJournal of Vacuum Science and Technology（2019）引用 0|浏览6暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
