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High performance In0.83Ga0.17As SWIR photodiode passivated by Al2O3/SiNx stacks with low-stress SiNx films

Luhong Wan,Gaoqi Cao,Xiumei Shao,Shuangyan Deng,Jifeng Cheng,Yi Gu,Xue Li

Journal of Applied Physics（2019）

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