磷酸扩孔对阳极氧化铝薄膜光学性质的影响

采用自制电解槽、氧极氧化装置,并用磷酸腐蚀扩孔制备了阳极氧化铝薄膜.通过扫描电子显微镜、紫外-可见漫反射光谱仪、荧光分光光度计等对样品进行了表征.结果表明,随扩孔时间从10 min延长到30 min,阳极氧化铝薄膜的孔径由39 nm增大到69 nm,光致发光强度降低,带隙能由3.92 eV降低到3.85 eV.研究发现,腐蚀扩孔过程会导致薄膜中氧空位的数量发生变化,揭示了通过腐蚀扩孔调控氧化铝薄膜中氧空位数量的可能性.实验结果为获得预期物性的阳极氧化铝薄膜提供了一种可行的途径.