透明导电薄膜(I):掺杂透明导电氧化物薄膜

王鼎, 闫彩波,周艳文

Journal of University of Science and Technology Liaoning(2021)

引用 0|浏览2
暂无评分
摘要
透明导电氧化物薄膜具有良好的光电性能.作为前电极,此类半导体材料薄膜广泛应用于半导体器件.本文以典型的掺杂TCO薄膜为切入点,综述了透明导电氧化物薄膜的发展历史及应用,重点阐述了几种典型掺杂TCO薄膜的结构特征、光电特性、制备方法及应用展望.
更多
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树,研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要