低噪声原子力显微镜测量单元设计
Journal of Chinese Electron Microscopy Society（2021）
Abstract
为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置.通过多源噪声抑制系统的设计,实现了实验环境下传递到实验装置的高低频振动由69 nm有效的衰减至0.03 nm以下.结合光偏转理论,系统在大气下的探针检测灵敏度为156.4 mV?nm-1、电压偏转噪声密度为2.24μV/√Hz、偏转噪声密度达到了17.72 fm/√Hz.系统噪声得到有效的抑制,为进一步实验奠定了基础.
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