一种制备均匀薄膜的装置
China Science and Technology Information（2021）
Abstract
现如今,随着工业智能制造水平的进一步提升,薄膜制造工艺日益精湛,其制作工序也逐渐得到完善与优化,可根据特定场所的特定需求开展一系列一维薄膜材料研发,并且这些具有特殊功能的薄膜材料已在各个领域中发挥了重大作用.尤其是在高尖端仪器的集成化及微型化进程中,高质量薄膜更是扮演着举足轻重的角色.传统的薄膜制备方式包含有真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、化学气相沉积、脉冲激光沉积、溶胶凝胶拉膜法、溶胶凝胶旋涂法以及喷雾热解法等,上述方法各有千秋.
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