真空计在线校准系统的研制
Vacuum（2021）
Abstract
为了解决真空计在线校准的问题,研制出一种真空计在线校准系统.真空计在线校准系统通过优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题.通过对在线校准技术的研究,采用比较法校准方法,以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准,解决了校准条件与使用条件基本一致性问题,可以减小量值传递过程产生的不确定度,保证测量的准确性和可靠性.真空计在线校准系统可实现(105～10-5)Pa范围内的真空计的在线计量,相对扩展不确定度不大于13％.
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