基于改进凸包检测的芯片图像字符区域定位

针对半导体芯片在激光打印时可能出现字符倾斜、字符位置错误等缺陷,提出一种基于改进凸包检测的半导体芯片图像字符区域定位方法.首先,利用三轴图像采集平台采集多幅半导体芯片图像,切分提取出若干单幅芯片图像;其次,采用Harris角点检测获取图像角点分布图,改进凸包检测算法,剔除非字符区域角点,获取最外围角点凸包线;最后,拟合凸包线最小外接矩形,定位字符区域位置.实验结果表明,与形态学滤波定位方法、基于边缘特征的定位方法、基于字符纹理特征的定位方法和基于凸包及最小外接矩的定位方法相比,该方法定位芯片字符区域准确度更高,且单幅平均运行时间少于其他方法1/2,可有效减少计算量,提高运算效率.