用于半导体生产的扩散/氧化系统整体方案设计
Industrial Heating（2021）
Abstract
详细介绍了扩散/氧化系统的整体控制方案,阐述了扩散/氧化设备的基本结构.基于显示触摸屏、可编程序控制器、温度检测单元和上位数据处理计算机等硬件装置提出了扩散/氧化系统的下位机控制方案、温度检测方案和输入/输出控制方案.最后通过EasyBuilder 8000软件对扩散/氧化系统的操作界面进行了相应的设计.
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