电子探针在有源光纤定量分析中的应用
CHINA MEASUREMENT & TESTING TECHNOLOGY（2021）
摘要
为给有源光纤的工艺开发和性能研究提供有力支撑,该文利用场发射型电子探针EPMA-8050G对光纤纤芯的元素掺杂微区进行系统的定性定量分析,进一步研究石英基质的测试特点以及测试条件对样品烧蚀的影响.能谱仪(EDS)和波谱仪(WDS)的定性分析结果表明,分析含量较低的元素如稀土元素Yb和轻元素F时,WDS有明显的优势.状态分析结果表明,石英基质有源光纤的定量分析最佳条件为加速电压15?kV,束流20?nA.利用该文确定的定量分析方法测试两种有源光纤,成分总量均在100％±2％以内,在光纤类样品的分析中可以得到准确可靠的结果.
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